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電子工業(yè)用超純水的制備

2021-06-08

在電子工業(yè)中，從各種電子元器件的清洗到一系列工藝溶液的配制，都需要高質量的純水，特別是半導體器件和大規(guī)模集成電路的生產(chǎn)，幾乎每道工序都要用超純水清洗。超純水在電子工業(yè)中的重要作用日益突出，已成為影響電子元件產(chǎn)品質量及生產(chǎn)成本的重要因素之一。拋光樹脂（混床樹脂）就是制備超純水的必備離子交換樹脂。

當集成電路產(chǎn)品的集成度達到1M時，要求純水的電阻率達到18 MΩ·cm以上，當集成電路產(chǎn)品的集成度達到16M時，要求純水的電阻率達到18.2 MΩ·cm以上，已達到超純水的理論值。

電子工業(yè)用超純水的制備均采用多級反滲透和二級混床處理，同時還有紫外線殺菌和超濾等技術。反滲透技術最大的特點是對水中的離子的去除率很高，能將水中的離子處理至較低的程度，但它不能將其完全去除。而此時，離子交換樹脂將起到一個不可替代的重要作用。離子交換樹脂適用于離子含量較低的水的處理，它能將水中的離子徹底去除，尤其適用于超純水的拋光階段，這也是離子交換樹脂具有強大生命力的原因之一。

電子工業(yè)超純水制備的Ⅰ級混床可采用常規(guī)的混床樹脂，而Ⅱ級精制混床樹脂則需要采用電子級樹脂。要求拋光樹脂不僅具有很強的交換能力和很高的機械強度外，還必須具有極高的再生純度和均勻的粒徑分布。其中，陽離子交換樹脂的H型率必須達到99.0%以上，鐵含量在50.0ppm干樹脂以下；陰離子交換樹脂的OH型率必須達到95.0%以上，氯離子含量在0.50%以下。而用于超純水拋光的陽離子交換樹脂的H型率必須達到99.9%以上。